Search results for "Bremzējošais starojums"
showing 1 items of 1 documents
Silīcija nitrīda dielektrisko pārklājumu fizikāli ķīmisko īpašību izmaiņas jonizējošā starojuma ietekmē
2017
Darbā ir pētīta paātrinātu elektronu un bremzējošā starojuma ietekme uz SiO2-Si3N4-SiO2 un Si3N4 kondensatora dielektrisko slāņu sintezētu uz Si pamatnes virsmas morfoloģiju un ķīmisko sastāvu, elektriskajām īpašībām – reālo kapacitāti, reālo un imagināro dielektrisko caurlaidība. SiO2-Si3N4-SiO2 un Si3N4 apstaroti ar paātrinātiem elektroniem un bremzējošo starojumu absorbēto dozu diapazonā no 3 līdz 30 kGy. Analizētie paraugi atkārtoti apstaroti ar paātrinātajiem elektroniem līdz 1400 kGy. Paraugu starošana veikta LU lineārajā elektronu paātrinātājā ELU-4. Paraugu ķīmiskā sastāva un virsmas reljefa analīze apstarotajiem un neapstarotajiem paraugiem veikta ar pilnīgas iekšējās atstarošanas …